아이에스티이가 23억 원 규모의 HBM 전용 FOUP 클리너 장비 공급계약을 체결했다고 공시했다. 계약에 따라 회사는 내년 4월 7일까지 SK하이닉스에 해당 장비를 납품할 예정이다.

회사 측은 지난해 11월에도 SK하이닉스로부터 28억 원 규모의 FOUP 클리너 장비를 수주한 바 있다. 당시 수주는 HBM 경쟁력 강화를 위한 신규 및 증설 투자에 대응한 초도 물량으로 설명됐으며, 이후 추가 수주 가능성도 제시됐다.

같은 달 아이에스티이는 앰코테크놀로지코리아로부터 15억 원 규모의 FOUP 복합장비를 수주했고, 삼성전자로부터도 FOUP 클리너 장비를 확보해 올해 3월과 4월까지 납품할 예정이라고 밝힌 바 있다. 최근 수주 공시는 FOUP 클리너 장비를 중심으로 이어지고 있다.

아이에스티이는 2013년 글로벌 최초로 바디와 커버를 분리 세정하는 FOUP 클리너를 개발했으며, 2016년 SK하이닉스에 첫 납품을 시작했다. 이후 오토메이션 장비, 밸브 리페어 및 장비 부품 등으로 협력 범위를 확대해 왔다. 2023년에는 SK하이닉스 기술혁신기업으로 선정되기도 했다.

조창현 대표는 SK하이닉스가 HBM 분야 경쟁력 유지를 위해 전·후공정 전반에 걸친 투자를 이어가고 있는 상황에서 자사 FOUP 클리너가 생산라인 안정성 확보에 활용되고 있다고 설명했다. 최근 수주 물량이 HBM 관련 투자와 연계된 만큼 관련 장비 수요가 지속될 것으로 기대한다고 밝혔다.

또한 회사는 기존 FOUP 클리너 외에도 SK하이닉스와 협력해 SiCN 공정용 PECVD 장비 국산화에 성공하고 판매를 완료했다고 덧붙였다. 핵심 전공정 장비를 신규 제품군으로 추가해 반복 수주 기반을 강화하겠다는 계획이다.